散斑抑制变形镜
此款变形镜基于压电陶瓷，具有连续反射表面。与传统用于自适应光学的变形镜不同，这款产品不再追求大变形量，而是以最高达~1.67MHz的工作频率，通过相位随机变化降低光束的时间和空间相干性，从而在探测器的采集时间内有效抑制散斑现象。与旋转散射体相比，该方法能避免大角度漫散射，提高光能利用率，且体积小、可靠度高。高带宽可使其应用于仅6 ns的短脉冲。
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激光的强相干性如同一把双刃剑，一方面它使得干涉仪等应用成为了可能，另一方面由此产生的散斑和干涉条纹却严重阻碍了激光投影、照明等另一些应用的实际使用。
散斑抑制变形镜 vs 散射体
| 散斑抑制变形镜 | 散射体 | |
| 工作原理 | 发生形变，使光束中各点发生随机相位变化，且每帧不存在关联，从而破坏光束的时间和空间相干性。 | 内部具有微形结构，使用过程中通过高速旋转，降低光束的时间和空间相干性。典型案例有毛玻璃和Engineered DiffuserTM。 |
| 特点 |
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左图：非工作状态下的变形镜，右图：工作状态下的变形镜。
参数
- 镜面：连续表面
- 帧频：100 KHz（典型值），最高可达~1.67MHz
- 镜面变形量：≤ 1 μm
- 工作波段：215 nm – 10.6 μm
- 表面反射率（典型值）：> 98%（可见光波段）
- 入射光束最高功率：100 W（CW）
- 入射光束的最短脉冲时长：6 ns
- 驱动电压：1.8 – 5.5 V DC
- 功耗（典型值）：75 mW
除变形镜外，同步提供SoC控制电路。
变形镜SoC控制电路
主要应用
- 激光DLP投影显示
- 激光全息显示
- 扫描激光显示
- 照明
- 显微镜
- 脉冲激光雷达
- 全场OCT：减少串扰
- 相干测量
- 结构光三维测量
