PM系列多面镜扫描仪

PM系列多面镜扫描仪专为高功率超快激光加工而设计。该系统为二维光束偏转单元,可用于2D、2.5D和3D加工。高端的PM系列多面镜扫描仪具有30 mm的自由孔径和实时板载数据处理功能,可在前所未有的吞吐量下实现最高精度的宏观和微观加工。

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PM系列多面镜扫描仪专为高功率超快激光加工而设计。该系统为二维光束偏转单元,可用于2D、2.5D和3D加工。高端的PM系列多面镜扫描仪具有30 mm的自由孔径和实时板载数据处理功能,可在前所未有的吞吐量下实现最高精度的宏观和微观加工。

 

主要特征:

  • 高达30mm的入光孔径
  • 适用于功率高达5kW的连续激光
  • 在整个扫描范围内都可以实现超高的扫描速度 (无加速度损耗)
  • 全数字、FPGA板载数据处理
  • 适用于位图、矢量图形、STL文件
  • 实时激光控制,可实现最高的精度

 

产品优势:

  • 二维光束偏转装置,可以单独使用或与设备集成 (实现轴、卷对卷等加工)
  • 多个数字和模拟I/OI接口、用于以太网通信、编码和过程控制
  • 应用:激光标刻、微纳结构、表面清洁、打孔、切割、雕刻加工(2.5D)、点焊、增材制造(3D)等

 

可选项:

光学

  • 可更换物镜(标准或定制)
  • 提供167 mm、255 mm和420 mm平场透镜

 

软件

  • 参数、位图和矢量图形模式
  • 8位灰度图像处理,用于雕刻加工(2.5D)
  • 3D实时切片器(STL文件)
  • 扫描仪和外部平移台同步

 

硬件

  • 使用AOM对连续波激光进行10 MHz频率调制
  • 多台扫描仪同步
  • 具有固定脉冲重复频率的激光器的相位校正

 

通用参数:

电源

电压

+(30±2)VDC,GND

电流

Max. 15A

纹波/噪声

Max. 200mVpp

工作温度

+18 ~ +30℃

工作湿度

20% ~ 90% rel.H

重量

13kg

尺寸

281 x 226 x 253

入光孔径

29.5mm

光束偏移

0mm

 

光学参数:

 

多面镜反射镜

基本轴

振镜反射镜

辅助轴

最大偏转角度

0.454 rad

0.698 rad

分辨率

< 2 μrad

< 4 μrad(20 bit)

重复性

/

< 1 μrad(RMS)

温度偏移

/

< 5 μrad/K

最大扫描速度Line/s

1333Hz @ 10000 rpm

最大扫描速度

> 800m/s @ 10000 rpm, 420mm f-Ɵ

波长

NIR > 1000nm(Au)

VIS 400 – 650nm(enhanced AI,Ag)

UV 350 – 365nm(UV enhanced AI)

 

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