PM系列多面镜扫描仪专为高功率超快激光加工而设计。该系统为二维光束偏转单元,可用于2D、2.5D和3D加工。高端的PM系列多面镜扫描仪具有30 mm的自由孔径和实时板载数据处理功能,可在前所未有的吞吐量下实现最高精度的宏观和微观加工。
主要特征:
- 高达30mm的入光孔径
- 适用于功率高达5kW的连续激光
- 在整个扫描范围内都可以实现超高的扫描速度 (无加速度损耗)
- 全数字、FPGA板载数据处理
- 适用于位图、矢量图形、STL文件
- 实时激光控制,可实现最高的精度
产品优势:
- 二维光束偏转装置,可以单独使用或与设备集成 (实现轴、卷对卷等加工)
- 多个数字和模拟I/OI接口、用于以太网通信、编码和过程控制
- 应用:激光标刻、微纳结构、表面清洁、打孔、切割、雕刻加工(2.5D)、点焊、增材制造(3D)等
可选项:
光学
- 可更换物镜(标准或定制)
- 提供167 mm、255 mm和420 mm平场透镜
软件
- 参数、位图和矢量图形模式
- 8位灰度图像处理,用于雕刻加工(2.5D)
- 3D实时切片器(STL文件)
- 扫描仪和外部平移台同步
硬件
- 使用AOM对连续波激光进行10 MHz频率调制
- 多台扫描仪同步
- 具有固定脉冲重复频率的激光器的相位校正
通用参数:
电源 |
电压 |
+(30±2)VDC,GND |
电流 |
Max. 15A |
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纹波/噪声 |
Max. 200mVpp |
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工作温度 |
+18 ~ +30℃ |
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工作湿度 |
20% ~ 90% rel.H |
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重量 |
13kg |
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尺寸 |
281 x 226 x 253 |
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入光孔径 |
29.5mm |
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光束偏移 |
0mm |
光学参数:
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多面镜反射镜 基本轴 |
振镜反射镜 辅助轴 |
最大偏转角度 |
0.454 rad |
0.698 rad |
分辨率 |
< 2 μrad |
< 4 μrad(20 bit) |
重复性 |
/ |
< 1 μrad(RMS) |
温度偏移 |
/ |
< 5 μrad/K |
最大扫描速度Line/s |
1333Hz @ 10000 rpm |
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最大扫描速度 |
> 800m/s @ 10000 rpm, 420mm f-Ɵ |
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波长 |
NIR > 1000nm(Au) |
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VIS 400 – 650nm(enhanced AI,Ag) |
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UV 350 – 365nm(UV enhanced AI) |