PM100-600多面镜扫描模块
PM系列多面镜扫描仪专为高功率超快激光加工而设计。该系统为二维光束偏转单元，可用于2D、2.5D加工。高端的PM系列多面镜扫描仪具有30 mm的自由孔径和实时板载数据处理功能，可在前所未有的吞吐量下实现最高精度的宏观和微观加工。
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PM系列多面镜扫描模块专为超快高功率激光加工而设计。该系统通过2D光束偏转器件来实现的，可用于 2D、2.5D的激光加工。高端PM扫描模块以30毫米的自由孔径和实时机载数据处理脱颖而出，对于大批量加工和微纳加工都能达到最高的精度控制，此优势目前是市场上仅有的。
主要特征：
- 双多变形反射镜：低失真(低畸变)
- 自由孔径大：30mm
- 承受激光功率：高达 5 kW (cw)或3kW脉冲激光
- 在整个扫描范围内都可以实现超高的扫描速度 (无加速度损耗)
- 全数字、FPGA板载数据处理
- 高达32位分辨率的位图图形
- 实时激光控制，可实现最高的精度
产品优势：
- 二维光束偏转装置，可以单独使用或与设备集成 (实现轴、卷对卷等加工)
- 多个数字和模拟I/OI接口、用于以太网通信、编码和过程控制
- 应用：激光标刻、微纳结构、表面清洁、打孔、切割、雕刻加工(2.5D)、点焊等
可选项：
光学
- 可更换的f-θ透镜（标准或定制）
- 提供适配f-θ透镜的光学数据手册
软件
- 参数设置、位图图形模式
- 支持32位灰度处理，实现2.5D雕刻
- 多扫描头同步控制
- 实时动态偏移校正
硬件
- 编码器I/O接口（用于动态基板处理）
- 高速激光触发输出（TTL信号与模拟信号）
通用参数：
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电源 |
电压 |
+(30±2)VDC,GND |
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电流 |
Max. 15A |
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纹波/噪声 |
Max. 200mVpp |
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工作温度 |
+18 ~ +30℃ |
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工作湿度 |
20% ~ 90% rel.H |
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重量 |
13kg |
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尺寸 |
281 x 226 x 253 |
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入光孔径 |
29.5mm |
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光束偏移 |
0mm |
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光学参数：
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多面镜反射镜 基本轴 |
振镜反射镜 辅助轴 |
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最大偏转角度 |
0.454 rad |
0.698 rad |
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分辨率 |
< 2 μrad(24-bit) |
< 4 μrad(20 bit) |
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重复性 |
20 μrad |
20 μrad(RMS) |
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温度偏移 |
/ |
< 5 μrad/K |
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最大扫描速度Line/s |
1333Hz @ 10000 rpm |
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最大扫描速度 |
> 800m/s @ 10000 rpm, 420mm f-Ɵ |
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波长 |
NIR 1030 – 1080nm |
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VIS 515/532nm |
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UV 343/355nm |
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定制 |
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