PM10多面镜扫描模块
PM10多面镜扫描模块专为高效动态激光加工及二维应用而设计。作为经济型入门级产品，适用于中低功率激光环境，同时传承了该系列闻名业界的高速光束偏转性能。其突出特点包括10mm自由孔径及经过验证的实时板载数据处理系统，可同时满足大批量加工和微纳加工场景下的极高精度需求。
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PM10多面镜扫描模块专为高效动态激光加工及二维应用而设计。作为经济型入门级产品，适用于中低功率激光环境，同时传承了该系列闻名业界的高速光束偏转性能。其突出特点包括10mm自由孔径及经过验证的实时板载数据处理系统，可同时满足大批量加工和微纳加工场景下的极高精度需求。
主要特征：
- 双多变形反射镜：低失真(低畸变)
- 自由孔径大：10mm
- 50% – 70%工作周期
- 在整个扫描范围内都可以实现超高的扫描速度 (无加速度损耗)
- 全数字、FPGA板载数据处理
- 位图或线条处理模式
- 实时激光控制，可实现最高的精度
产品优势：
- 二维光束偏转装置，可以单独使用或与设备集成 (实现轴、卷对卷等加工)
- 可选配：单个激光源上同步两台扫描模块
- 应用：激光标刻、微纳结构、表面清洁、打孔、切割、雕刻加工(2.5D)、点焊等
可选项：
光学
- 8面或12面镜配置 (±30°及±15°扫描角度)
- 兼容标准及定制f-θ透镜
- 适配环快拆设计，便于更换
软件
- 参数或位图模式
- 支持32位灰度处理，实现2.5D雕刻
- 多扫描头同步控制
- 外部轴实时动态处理
硬件
- 高速激光触发，最高达100 MHz
- 位置同步脉冲触发
光学参数：
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多面镜反射镜 基本轴 |
振镜反射镜 辅助轴 |
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最大偏转角度 |
± 525 mrad @ 8F (±30.12°) ± 263 mrad @ 12F (±15.11°) |
up to ± 400 mrad (±22.54°) |
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分辨率 |
< 2 μrad(24-bit) |
< 4 μrad(20 bit) |
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重复性 |
< 12μrad(RMS) |
< 12μrad(RMS) |
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温度偏移 |
/ |
< 24 µrad/8 hour |
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最大扫描速度Line/s |
666 Hz @ 5,000 rpm, 8 facets 1,000 Hz @ 5,000 rpm, 12 facets |
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最大扫描速度 |
440 m/s @ 5,000 rpm, 420 mm f-θ 270 m/s @ 5,000 rpm, 255 mm f-θ 170 m/s @ 5,000 rpm, 163 mm f-θ |
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速度提升 |
最高可达10,000 rpm（按需定制） |
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波长 |
NIR >1,000 nm (Au) |
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VIS / UV 或按需定制 |
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自由孔径 |
10mm |
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