Phasics 四波剪切干涉波前传感器
QWLSI:独一无二的专利波前传感技术
四波横向剪切干涉技术(QWLSI),也被称为改进型哈特曼掩模技术,是一项专利波前传感技术。它以高空间分辨率、无需中继透镜即可测量发散光束以及消色差三大优势著称。
该技术由 Phasics 于 2004 年推向市场,凭借优异性能与易集成性获得全球行业认可。
QWLSI 是夏克‑哈特曼与斐索干涉技术的强有力替代方案,专为解决夏克‑哈特曼分辨率不足的问题而开发。
它采用精巧的衍射光栅设计,替代传统哈特曼测试的孔阵与夏克提出的微透镜阵列。
应用:激光检测、光学元件及系统计量、定量相位成像、自适应光学

QWLSI 核心优势
- 高分辨率:分辨率达到夏克‑哈特曼的 4 倍
- 全谱段消色差:仅受探测器光谱范围限制
- 大动态范围:可直接测量强发散光束
- 无需参考臂:区别于传统斐索干涉仪
- 结构紧凑、易于集成部署
- 震动不敏感
四波横向剪切干涉(QWLSI)工作原理
QWLSI 以纳米级灵敏度与超高空间分辨率测量光束的相位与光强。其核心是一块衍射光栅,可将入射光复制为 4 束完全相同的光波;传播数毫米后,4 束复制光交叠干涉,在探测器上形成干涉图;波前相位梯度信息被编码在干涉条纹的形变中,进而解算出完整波前。

SID4系列波前传感器:UV-IR
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| 型号 | SID4 UV | SID4 UV HR | SID4 ν | SID4 | SID4 HR | SID4 UHR | SID4 SWIR | SID4 SWIR HR | SID4 eSWIR | SID4 DWIR | SID4LWIR |
| 概述 | 高性价比高分辨率紫外波前传感器 | 紫外波前传感器,波长低至190 nm | 高分辨率且真空兼容至 10-6 mbar波前传感器 | 高性价比高分辨率波前传感器 | 高分辨率波前传感器 | 超高分辨率波前传感器 | 高性价比短波红外波前传感器 | 高分辨率短波红外波前传感器 | 高分辨率扩展短波红外波前传感器 | 3-5 µm 及 8-14 µm 双波段波前传感器 | 远红外高分辨率波前传感器 |
| 波长范围 | 190 – 400 nm | 190 – 400 nm | 400 – 1100 nm | 400 – 1100 nm | 400 – 1100 nm | 400 – 1100 nm | 0.9 – 1.7 µm | 0.9 – 1.7 µm | 0.9 – 2.35 µm | 3-5 µm and 8-14 µm |
8-14 µm |
| 靶面尺寸 | 7.78 x 7.78 mm² | 13.3 x 13.3 mm² | 4.73 x 3.55 mm² | 5.02 x 3.75 mm² | 9.98 x 8.64 mm² | 15.16 x 15.16 mm² | 9.60 x 7.68 mm² | 9.60 x 7.68 mm² | 9.6 x 7.68 mm² | 10.08 x 8.16 mm² | 16.00 x 12.00 mm² |
| 空间分辨率 | 21.92 µm | 26 µm | 29.6 µm | 27.6 µm | 24 µm | 29.6 µm (扩展选项:22.2 µm) | 120 µm | 60 µm | 120 µm | 68 µm | 100 µm |
| 取样分辨率 | 355 x 355 | 512 x 512 | 160 x 120 | 182 x 136 | 416 x 360 | 512 x 512 (扩展选项:666 x 666) | 80 x 64 | 160 x 128 | 80 x 64 | 160 x 120 | 160 x 120 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS | 2 nm RMS | 10 nm RMS | < 2 nm RMS | <2 nm RMS | < 2 nm RMS | < 2 nm RMS | < 2 nm RMS | <6 nm RMS* | 25 nm RMS | 25 nm RMS |
| 绝对精度 | 10 nm RMS | 10 nm RMS | < 2 nm RMS | 10 nm RMS | 20 nm RMS | 15 nm RMS | 15 nm RMS | <40 nm RMS* | 75 nm RMS | 75 nm RMS | |
| 取样速度 | > 30 fps | 30 fps | 60 fps | 60 fps | 10 fps | 8 fps | 30 fps | 30 fps | 50 fps | 24 fps | |
| 动态范围 | 500 µm PV | ||||||||||
| 实时处理速度* (全分辨率下) |
2 fps | 3 fps | 10 Hz | 10 fps | 3 fps | 1 Hz | >7 fps | >7 fps | 10 Hz | > 10 fps | 10 fps |
| 接口种类 | 以太网口 | Camera Link | 以太网口 | 以太网口 | 以太网口 | 以太网口 | 以太网口 | USB 2.0 | 以太网口 | 以太网口 | |
| 尺寸(宽x高x长) | 45 x 30 x 100 mm3 | 78 x 88.1 x 70.8 mm3 | 54 x 46 x 75.3 mm3 | 62 x 64 x 94 mm3 | 80 x 77.5 x 86.4 mm3 | 60 x 60 x 70 mm3 | 100 x 55 x 63 mm3 | 100 x 55 x 63 mm3 | 90 x 115 x 120 mm | 85 x 118 x 193 mm3 | 90 x 96 x 110 mm3 |
| 重量 | ~ 250g | ~ 575g | ~250 g | ~ 400g | ~ 450 g | ~ 500g | ~ 500g | ~ 1.8 kg | ~ 1.6kg | ~ 850g | |
| 真空兼容性 | >10-6 mbar | ||||||||||
| 最高数值孔径 | 0.2 |




