Phasics四波剪切干涉波前传感器

超高相位分辨率:512x512

高动态范围:500μm PV

波长范围:190nm-14μm

销售工程师:杨工

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Phasics 四波剪切干涉波前传感器

QWLSI:独一无二的专利波前传感技术

四波横向剪切干涉技术(QWLSI),也被称为改进型哈特曼掩模技术,是一项专利波前传感技术。它以高空间分辨率无需中继透镜即可测量发散光束以及消色差三大优势著称。

该技术由 Phasics 于 2004 年推向市场,凭借优异性能与易集成性获得全球行业认可。

QWLSI 是夏克‑哈特曼与斐索干涉技术的强有力替代方案,专为解决夏克‑哈特曼分辨率不足的问题而开发。

它采用精巧的衍射光栅设计,替代传统哈特曼测试的孔阵与夏克提出的微透镜阵列。

应用:激光检测、光学元件及系统计量、定量相位成像、自适应光学

QWLSI 核心优势

  • 高分辨率:分辨率达到夏克‑哈特曼的 4 倍
  • 全谱段消色差:仅受探测器光谱范围限制
  • 大动态范围:可直接测量强发散光束
  • 无需参考臂:区别于传统斐索干涉仪
  • 结构紧凑、易于集成部署
  • 震动不敏感

四波横向剪切干涉(QWLSI)工作原理

QWLSI 以纳米级灵敏度与超高空间分辨率测量光束的相位与光强。其核心是一块衍射光栅,可将入射光复制为 4 束完全相同的光波;传播数毫米后,4 束复制光交叠干涉,在探测器上形成干涉图;波前相位梯度信息被编码在干涉条纹的形变中,进而解算出完整波前。

 

SID4系列波前传感器:UV-IR

 

 

型号 SID4 UV SID4 UV HR SID4 ν  SID4 SID4 HR SID4 UHR SID4 SWIR SID4 SWIR HR SID4 eSWIR SID4 DWIR SID4LWIR
概述 高性价比高分辨率紫外波前传感器 紫外波前传感器,波长低至190 nm 高分辨率且真空兼容至 10-6 mbar波前传感器 高性价比高分辨率波前传感器 高分辨率波前传感器 超高分辨率波前传感器 高性价比短波红外波前传感器 高分辨率短波红外波前传感器 高分辨率扩展短波红外波前传感器 3-5 µm 及 8-14  µm 双波段波前传感器 远红外高分辨率波前传感器
波长范围 190 – 400 nm 190 – 400 nm 400 – 1100 nm  400 – 1100 nm  400 – 1100  nm 400  –  1100 nm 0.9 – 1.7 µm 0.9 – 1.7   µm 0.9 – 2.35 µm 3-5 µm and
 8-14 µm 
8-14   µm
靶面尺寸 7.78 x 7.78 mm²  13.3 x 13.3 mm²  4.73 x 3.55 mm² 5.02 x 3.75 mm²  9.98 x 8.64 mm²  15.16 x 15.16 mm² 9.60 x 7.68 mm²  9.60 x 7.68 mm²  9.6 x 7.68 mm²  10.08 x 8.16 mm²  16.00 x 12.00 mm² 
空间分辨率 21.92 µm 26 µm 29.6 µm 27.6 µm 24 µm 29.6 µm (扩展选项:22.2 µm)  120 µm 60 µm 120 µm 68 µm 100 µm
取样分辨率  355 x 355 512 x 512  160 x 120  182 x 136 416 x 360 512 x 512 (扩展选项:666 x 666)  80 x 64 160 x 128 80 x 64 160 x 120 160 x 120
相位分辨率 2 nm RMS 2 nm RMS 10 nm RMS  < 2 nm RMS <2 nm RMS  < 2 nm RMS < 2 nm RMS < 2 nm RMS <6 nm RMS* 25 nm RMS 25 nm RMS
绝对精度 10 nm RMS 10 nm RMS < 2 nm RMS 10 nm RMS 20 nm RMS   15 nm RMS 15 nm RMS <40 nm RMS* 75 nm RMS 75 nm RMS
取样速度 > 30 fps 30 fps 60 fps 60 fps 10 fps 8 fps 30 fps 30 fps   50 fps 24 fps
动态范围          500 µm PV            
实时处理速度*
(全分辨率下) 
2 fps 3 fps 10 Hz 10 fps 3 fps  1 Hz >7 fps >7 fps 10 Hz  > 10 fps 10 fps
接口种类 以太网口 Camera Link   以太网口 以太网口 以太网口 以太网口 以太网口 USB 2.0 以太网口 以太网口
尺寸(宽x高x长) 45 x 30 x 100 mm3  78 x 88.1 x 70.8 mm3 54 x 46 x 75.3 mm3  62 x 64 x 94 mm3 80 x 77.5 x 86.4 mm3 60 x 60 x 70 mm3 100 x 55 x 63 mm3  100 x 55 x 63 mm3  90 x 115 x 120 mm 85 x 118 x 193 mm3  90 x 96 x 110 mm3 
重量 ~ 250g  ~ 575g ~250 g ~ 400g   ~ 450 g ~ 500g ~ 500g  ~ 1.8 kg ~ 1.6kg ~ 850g
真空兼容性     >10-6 mbar                 
最高数值孔径     0.2