BREVITY HIGH POWER(BHP)是一种交钥匙皮秒光纤激光器,发射波长为 1.96 μm。与长波长相关的是非常高的峰值功率,故而这种激光器可以在广泛的工业应用中使用。
BHP 利用 2 μm 左右的半导体(硅)透明度,特别适用于需要通过硅进行加工,如:剥离、晶圆解键合;或在晶圆主体上进行隐形切割、波导划线的微电子和显示器领域的任何应用。
|
|
技术参数:
规格参数 |
Brevity HP |
中心波长 |
1.96 µm ± 20 nm |
平均功率 |
>1 W |
脉冲能量(@100kHz) |
高达10 μJ |
重复频率 |
100 kHz – 1 MHz (兼容突发模式操作) |
脉冲宽度 |
< 2 ps (FWHM 假设sech2拟合) |
平均功率稳定性(RMS超过8h) |
< 2 % (在21°C ± 2°C的稳定环境条件下) |
脉冲能量稳定性(RMS超过1000 次的连续shots) |
< 2 % |
光束指向稳定性 |
< ±20 μrad/K |
激光输出 |
准直 |
M2 |
< 1.5 |
偏振态 |
线性 (PER > 20dB) |
工作电压 |
100-240 V VAC 50/60Hz |
系统冷却:水冷 |
水冷 (包含水-空气冷却器) |
工作温度 |
+20°C to +30°C |