产品优势
- 使用简单:基于模式的控制方式,每个控制通道分别对应一个低阶泽尼克像差
- 变形量大:最大波前倾斜变形量100 μm (峰谷值)
- 集成度高:变形镜光学头与驱动控制单元二合一,体积仅Ф50 mm X 50 mm,易于固定
- 波前拟合残差小
- 连续光学表面:填充率100%,更小光能损耗
- 提供API,兼容任何编程语言和操作系统,无需额外软件驱动
- 低功耗
产品DMM主要参数
参数 |
值 |
控制通道数量 |
8 |
孔径直径 |
13.5 mm |
最佳平面度(闭环中机械量均方根值) |
≤ 30 nm |
倾斜变形量(波前峰谷值) |
≥ 100 μm |
离焦/像散变形量(波前峰谷值) |
≥ 25 μm |
球差变形量(波前峰谷值) |
≥ 1 μm |
镜面薄膜第一谐振频率 |
≥ 150 Hz |
稳定时间(落入最终稳定值+/-10%范围内) |
≤ 10 ms |
非线性误差 |
≤ 5% |
迟滞误差 |
≤ 5% |
变形镜机械尺寸 |
Φ50 mm ×50 mm |
备注:此为初步参数,下单前请再次联系我们进行确认!
DMM拟合泽尼克像差的典型变形量及误差
定制项目
- 更大变形量
- 有效孔径尺寸
- 其他镀膜