PM系列扫描多面镜大孔径高功率超快激光加工的理想之选
文章出处:上海兮锘光学有限公司 创作:飞秒超快激光器,自适应光学,超快激光传输系统 发布时间:2026-04-09
PM系列扫描多面镜是专为超快高功率激光加工打造的高端2D光束偏转系统。其采用获得专利认证的双多边形反射镜设计,具有低失真、大孔径、高承受功率和超快扫描速度等突出优势,能够满足从2D、2.5D到3D的各类激光加工需求,广泛应用于激光打标、微结构加工、表面清洁、钻孔切割、增材制造等领域。
一、核心设计优势
PM系列最显著的特点是其30mm的超大自由孔径,能够容纳更粗的激光光束,可承受高达5kW的连续激光功率,满足高功率工业激光器的严苛加工任务。双多边形反射镜结构从根源上保证了扫描过程的低畸变和高稳定性,且在整个扫描场内实现超快扫描而无加速度损失。
二、卓越的扫描性能
在光学性能方面,主轴的偏转范围为±0.454rad,分辨率高达24bit(小于2μrad);副轴偏转范围为±0.698rad,分辨率20bit(小于4μrad)。重复精度优于1μrad,温度漂移小于5μrad/k。在10,000r/min的转速下,每秒可处理高达1,333条线,配合420mm焦距的f-θ镜头,扫描速度可突破800m/s。波长覆盖紫外、可见光及近红外,用户可根据激光波段选择合适的镜面镀膜。

多面镜扫描模块
三、强大的数据处理能力
PM系列集成全数字FPGA机载数据处理系统,板载内存1GB(可选2GB),支持高达9万乘9万像素的超大扫描场。系统提供丰富的输入输出接口:以太网、数字输出、模拟输入输出、轴控制接口及USB 2.0,并提供Master/slave接口,并可选配多扫描模块同步功能。
四、灵活集成与选项
PM系列支持可更换镜头,标准焦距为167mm、255mm和420mm,也可定制。硬件选项包括:配合声光调制器实现对连续激光的10兆赫兹调制、多扫描模块同步、以及对固定脉冲宽度和重复频率激光器的相位校正。扫描模块可单独使用,也可集成到带轴或辊对辊的运动平台中,实现最高精度的实时激光切换。
PM系列扫描多面镜以其业界领先的大孔径、高功率承受能力、超快扫描速度以及灵活的软件硬件配置,为高精度、高效率的激光微纳加工提供了核心偏转解决方案,是大批量生产和精密加工的理想选择。
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