多面扫描镜:大孔径高功率超快 2D 光束偏转解决方案

                                                                           

文章出处:上海兮锘光学有限公司 创作:飞秒超快激光器,自适应光学,超快激光传输系统 发布时间:2026-03-03

  多面扫描镜是专为超快高功率激光加工打造的高端 2D 光束偏转系统。该产品以 30 mm的超大自由孔径、高达 5 kW的连续激光承受能力以及超过 800 m/s的超快扫描速度,在大批量微纳加工领域树立了新的精度与效率标杆。其独特的双多边形反射镜专利设计确保了低失真扫描,配合全数字现场可编程门阵列机载数据处理,可轻松应对 2D、2.5D 激光加工任务,是激光打标、微结构加工、精密钻孔与增材制造等应用的理想选择。

  一、核心设计优势

  多面扫描镜的核心在于其获得专利的双多边形反射镜结构。这一设计从根本上保证了扫描过程的低失真与高稳定性。系统拥有30 mm的超大输入孔径,能够容纳更粗的激光光束,从而实现更小的聚焦光斑和更高的能量密度。同时,其高达 5 kW的连续激光承受能力,使其在应对高功率工业激光器时游刃有余,无需担心光学元件损伤。

  二、光学与扫描性能

  在光学性能上,多面扫描镜表现卓越。主轴的偏转范围为±0.454 rad,分辨率高达 24 bit,小于 2 μrad;副轴的分辨率也达到了 20 bit,小于 4 μrad。其重复精度小于 1 μrad,确保批量加工的一致性。在 10,000 r/min的转速下,系统每秒可处理高达 1,333 线,结合 420 mm的 f-θ 镜头,扫描速度可突破 800 m/s。波长覆盖范围广泛,可提供针对近红外、可见光及紫外的镀膜选项。

多面镜扫描模块

多面镜扫描模块

  三、硬件与数据处理能力

  多面扫描镜不仅具备强大的光学引擎,还集成了全数字现场可编程门阵列机载数据处理系统。板载 1GB 内存支持高达 9 * 9 万像素的超大扫描场。用户可直接处理 BMP 位图、DXF 矢量图以及 STL 三维模型,并由 200 MHz的现场可编程门阵列实时计算扫描路径。系统提供丰富的输入输出接口,包括以太网、模拟数字信号及轴控制接口,并可实现主从同步,便于多模块协同工作。

  四、典型应用

  凭借其超快扫描速度和高精度控制,多面扫描镜广泛应用于各类激光加工场景:高反材料的高速打标、微结构钻孔与切割、大面积表面清洁、2.5D 浮雕雕刻以及金属增材制造。其强大的实时激光切换能力,确保了在连续或脉冲模式下的精确能量控制。

  多面扫描镜以其业界领先的大孔径、高功率承受能力和超快扫描速度,重新定义了高精度激光加工的标准。它不仅满足了当前工业制造对效率和精度的双重追求,更为未来的微纳加工技术创新提供了强大的平台支持。

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